普发分子泵是一种突破性的抽气技术,专为高真空应用而设计。它利用气体分子的动量传递原理,提供了无油、无振动的抽气,真空度可达 10 -9 mbar。
工作原理
普发分子泵由两个高速旋转的圆盘组成。圆盘上装有许多斜向刀片。当气体分子进入泵内时,它们与刀片碰撞,并向刀片方向弹射。通过这种方式,气体分子被泵送出抽空空间。
优势
- 无油设计:与涡轮分子泵不同,普发分子泵不需要油脂润滑,从而消除了油脂污染的风险。
- 无振动:圆盘的平衡设计消除了振
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